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真空腔

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信息时间:
2024-09-19
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项目名称 真空腔
项目编号 SUSTech-JC-2024-01027
项目类型 货物类
成交方式 最低价成交
采购方式 公开竞采
公告开始时间 2024-09-19 16:02:42
公告结束时间 2024-09-26 16:02:42
预算(元) 400000.00
项目预算是否含税 国产含税
备注



序号 名称 数量 单位

1

真空腔(核心货物)

1

是否接受进口

拒绝进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1.13.56 MHz放电电源功率0-2000 W,具有独立的自动匹配装置调节匹配性;
2.27.12 MHz偏压电源功率0-500 W,具有独立的自动匹配装置调节匹配性;
3.可提供四路工艺气体,气体流量调节范围均为0-200 sccm,调节精度0.1 sccm ;
4.要求真空系统通过可变频真空泵组调节,有效工作气压范围0.01 - 0.3 Torr;
5.样品台最大直径245 mm,最大可加工晶圆尺寸8 英寸。

质保期

保修一年

售后要求

24小时内响应客户,重大问题48小时内到达现场。

付款方式 合同生效并收到相应发票后支付合同总额的70%作为进度款;设备到达指定安装现场且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的30%。
交货期 ******学校要求提前7天(自然日)通知送货
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